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      石英管的選用與檢測方法

      2020-12-09 10:50:27 點擊數:

      選用

      閉管擴散要用石英管,這是由于石英管能耐1250℃左右的高溫,而且在1800℃以上時會變得很柔軟且很粘,能做成所需要的形狀。另一方面,由于石英管采用的原料是特級水晶石,純度高,含有害的雜質很少,對于擴散、配制合金等能保證質量,因此閉管擴散常采用石英管。 石英管的制備:根據擴散硅片直徑的不同,來選擇石英管的內徑、壁厚等參數。

      檢測

      (1)石英管的阻值檢測 石英管可以通過萬用表檢測其阻值,將萬用表擋位調至“蜂鳴擋”,將紅黑表筆分別搭在石英管的兩端,如下圖所示,此時萬用表的蜂鳴器應當發出響聲,并且指針應當指向零。若檢測時,萬用表蜂鳴器無聲音發出,并且指針指向無窮大時,說明石英管的內部發生損壞。

      (2)石英管的供電電壓檢測 檢測石英管的供電電壓時,首先將萬用表的量程調至“交流250V”電壓擋,紅黑表筆分別搭在石英管的供電端,如下圖所示。此時觀察萬用表的讀數,若在交流220V左右,則說明石英管的供電電壓正常。

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